教授，博导。中国科学技术大学获得学士学位，美国斯坦福大学（Stanford）硕士、博士学位。曾在美国应用材料公司及英特尔研究院担任高级技术职务。中组部首批“青年千人计划”入选者，教育部“新世纪人才支持计划”获得者，973青年项目首席科学家。 担任国家973国家重大科学研究计划--青年科学家专题项目首席科学家，主持国家自然科学基金项目。围绕着原子层沉积、纳米颗粒制备、薄膜工艺与设备开发，承担了多项新能源与微电子相关项目的研究，是选择性原子层沉积技术的先驱者之一。获美国半导体研究协会Simon Karecki奖、首届德州仪器微电子领域女性领袖奖、英特尔研究院杰出执行和创新实践奖等。所在团队2008年获得Frost & Sullivan北美先进海量存储芯片方案技术创新奖，AlwaysOn 全球250入选杰出团队，以及美国英特尔公司加利福尼亚技术制造部门奖等一系列荣誉称号。在Advanced Materials, ACS Nano, Energy & Environmental Science等国际知名期刊上发表论文30余篇；微纳制造领域发明专利14项，其中5项为美国专利，3项国际专利；主编撰写“十二.五”重点出版物一部；在相关领域的国际学术会议作特邀报告及其他报告40余次。 中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事、中国机械工程学会高级会员、中国真空学会高级会员、PM2.5污染治理示范工程研讨组成员，美国IEEE、MRS、APS、ACS、ECS学会会员；美国劳伦斯-伯克利国家实验室开放基金特邀专家评审组成员，曾担任英特尔风险投资部门纳米材料及新能源技术顾问及学术基金部门顾问；担任ACS Nano、Applied Physics Letters、Journal of Applied Physics等国际权威期刊审稿人；担任美国NSF和中国NSFC基金评委、国家科学技术奖评委、国际科技合作专家等。 主要研究方向 微纳制造、纳米材料生长工艺及设备开发，薄膜制备工艺及应用；原子层沉积技术、微电子和新能源领域的纳米器件开发。 将实验和理论相结合，研究纳米薄膜生长工艺及设备开发，用来解决未来电子和能源工业所即刻面临的挑战。研究的重点在于控制纳米材料的生长、结构、及其性能，用于制造和表征具有精确的物质组成、以及原子尺度上可控的纳米结构，将其整合成纳米器件，并开发相关高精度生长设备。