微系统与微结构制造教育部重点实验室成立于2006年，隶属于国家教育部，该重点实验室以哈尔滨工业大学机械电子工程、机械制造及其自动化、材料加工、精密仪器及机械等4个国家级重点学科为主要依托，以微电子与固体物理、化学、物理学等学科为基础，在哈尔滨工业大学微纳米技术研究中心进行建设。 实验室以微结构与微系统为研究对象，瞄准国际学科前沿，立足国防建设，面向国民经济主战场，围绕我国制造业发展中的重大科技问题，通过多学科交叉与融合，建设和完善了微纳制造技术、纳米科技、微纳系统集成等若干研究领域。微纳制造技术研究领域下设微塑性成形、微铸造成形，微注射成形、SPM加工、微细特种加工、微连接等若干研究方向。纳米科技研究领域下设纳米材料、纳米生物、纳米器件、纳米医学、纳米能源和纳米表征等若干重要基础与应用研究方向。 实验室拥有各种大型先进仪器设备40余台，为各学科方向搭建了微系统与微结构加工、测试与表征研究平台，包括由微冲压系统、微塑性成型系统、微塑性拉伸试验机、微注射成型机等组成的微纳加工平台；由离子束刻蚀系统、原子层沉积系统、电阻蒸发镀膜机、可变转速比率的行星式高能球磨机等组成的材料制备平台；由场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、扫描探针显微镜、徕卡热台偏光显微镜、HJY荧光分光光谱仪、热分析仪等组成的材料表征平台；另外，生物医学平台和能源环境平台正在建设中。