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团队简介

    2012年“自治区产业创新创业人才团队"。研发团队以国家特聘专家、国际知名的气体分析仪器专家、国际半导体协会标准化技术委员会委员阎文斌博士为带头人,以其掌握的CRDS气体监测分析技术为生产技术基础,研发光腔衰荡光谱法高纯气体分析仪。其原理是利用激光与光腔的结合来检测气体分子的光谱吸收。主要创新点在于设计新型光腔,应用先进技术,使得测量速度快,无需标定,仪器操作简单人性化,测量精度较其他方法在测量精度上大幅提高。以目前世界的光学镜,机械零部件等各行业的最高加工精度,最终光腔衰荡光谱法高纯气体分析仪最低可达ppt级。但由于国内各行业发展较晚,与国外产品相比仍存在差距,阎博士为帮助国内有关行业提高水平,进行了大量交流及共同试验,尽量使用国产零件,目前已研发成功的气体分析仪测量下限可达0.8ppb。 
    随着科研工作的推进,现已获批软件著作权2项、实用新型专利7项,已受理发明专利2项、实用新型专利4项、软件著作权2项,并且还在不断申请包括发明专利的各种知识产权。

代表成果

带头人介绍

研究方向:

带头人社会兼职

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