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平面平晶标准装置

制造厂商:ZYGO公司

仪器型号:GPI-HS

仪器分类:计量仪器>天文仪器>其他

应用领域:09-电子/信息技术、11-仪器/仪表

参考价格: 面议

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主要功能

校准激光干涉仪、检定平面平晶及平行平晶,检测球面镜

技术指标

平面度 Ø100mm, U=0.01µm Ø200mm, U=0.02µm Ø450mm, U=0.02µm

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