技术指标
1.优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2.日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3.Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4.可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5.标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
服务内容
来样检测
1.优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2.日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3.Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4.可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5.标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
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