主要功能
不间断电源，真空泵，钨灯丝，物镜光阑片，离子溅射仪，氮气系统，电脑。
技术指标
钨灯丝扫描电子显微镜：1、加速电压：0-30kV；2、探针电流：0-50uA；3、放大倍率：≤100K；4、扫描速度：1-15；5、工作距离：0-145mm。 能谱仪：1、最佳工作距离和角度：8.5mm、35°；2、定量分析（元素周期表大部分元素）。
服务内容
导电样品的微观形貌、微观区域晶体结构分析，材料微观区域化学成分分析。
不间断电源，真空泵，钨灯丝，物镜光阑片，离子溅射仪，氮气系统，电脑。
钨灯丝扫描电子显微镜：1、加速电压：0-30kV；2、探针电流：0-50uA；3、放大倍率：≤100K；4、扫描速度：1-15；5、工作距离：0-145mm。 能谱仪：1、最佳工作距离和角度：8.5mm、35°；2、定量分析（元素周期表大部分元素）。
导电样品的微观形貌、微观区域晶体结构分析，材料微观区域化学成分分析。
