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晶圆盒项目简介

专利(申请号):

专利类型:

技术成熟度:已有样品

所在地:山东滨州

最近更新:2020-09-28

行业:化学化工-专用化学

交易方式:技术入股

价格:面议

项目简介

晶圆盒项目简介 一、晶圆盒简介 1,晶圆盒作为半导体生产中重要的原物料用于输送和存储晶圆,在晶圆的生产过程中起到防止晶圆被环境污染以及外物碰擦。 2,由于半导体的关键尺寸小,图案密集,生产中的颗粒度要求非常严格,晶圆盒必须保持洁净环境,来连接到不同生产机台的微环境和反应腔。 3,为了简化运输和尽可能降低被污染的风险,芯片制造商利用“前开式标准晶圆盒"即所谓的FOUP来搬运晶圆。FOUP可以对接在大多数应用材料机器系统的前端,机器可以将晶圆一片片的吸进去,自动进行加工。一旦FOUP达到芯片生产链上的某个加工点,每张晶圆片都会有专门的自动化工具对其进行处理,然后FOUP被运送到下一个加工点,相同设备重复相同的加工。 二、市场情况 1,目前12寸与8寸硅晶圆,供给与需求均存在缺口,因供应量增加幅度有限,因此今后供不应求情况可能呈现长期化。2018、2019年12英寸硅晶圆的供应量预期仅有3-5%的小幅度增加,而12英寸硅晶圆需求端则预期每年有5.4%的增加。因此2018-2019年12英寸硅晶圆的供需缺口会较2017年扩大。 2,原材料性能要求高,供应受限,生产环境要求苛刻,目前全球晶圆盒国际垄断严重。 3,2019年晶圆月产能达2000万片,年产能2.4亿片,晶圆盒需求1000万件以上。 4,中国12寸与8寸硅晶圆的产品均需要进口,随着中国半导体行业的发展,需求会进一步增大。 三,技术优势 1,完善的制作体系。从材料筛选到模具制作,制品设计,成型技术,以及品质管理提供系统完善的指导。晶圆盒一般采用耐温,耐磨,防静电添加的塑料材质,高性能的树脂材料是其基础。可以提供专用树脂,保证其质量。 2,成熟的制作工艺。拥有先进12寸硅片晶圆盒的制作工艺。可以满足未来半导体芯片的发展趋势。产品的不良率可以控制在5%左右。远远优于行业20~25%不良率。 3,先进的生产环境&检测体系。晶圆盒的制造区域必须是洁净室,环境必须得到严格控制,空气经过严格过滤,以消除微米级粉尘,最终每立方米空气当中的微米级粉尘不超过10粒。生产环境中,就连空气的方向都是有严格规定的。完善的检测仪器以及体系,确保生产环境达到生产要求。 四,核心技术团队 YZXY ,男,日本籍,曾任职日本著名的材料公司; 拥有多项树脂原料专利。

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