一站式科技服务平台

一种柔性光学传感器的制作方法

专利(申请号):200410061274.8

专利类型:发明专利

技术成熟度:研发阶段

所在地:湖北武汉

最近更新:2018-04-10

行业:仪器仪表-光学仪器

交易方式:许可转让

价格:面议

项目简介

   本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法,步骤为:①光刻成形;②热熔;③离子刻蚀;④淀积保护层;⑤在正面淀积一层Cr或Al金属,光刻、刻蚀出金属图形,接着,在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺,再进行固化;⑥在背面深刻蚀硅,直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构,最后再涂覆聚酰亚胺,并固化,即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度,且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力,在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。

交易安全保障

1、买家交易款项将暂保管于猪八戒网担保账户,猪八戒网全程资金代管,保障买卖双方资金安全。

2、选择委托经纪人服务,均由交易经纪人验证交易品和买卖双方身份信息真实有效性。

3、猪八戒网专属律师事务所将对委托交易全程监督,确保所有交易合同及相关文件合法有效。

4、选择委托经纪人服务,并由猪八戒网向卖家代付定金;待国家知识产权局下发手续合格通知书、并经猪八戒网核实后,支付卖家尾款。

5、选择委托经纪人服务,将由交易经纪人代办国家手续,客户随时可查进度。

猜您感兴趣的

在线咨询