80年代我国在国际上独创减压充氮生长直拉硅单晶，首次将掺氮直拉硅单晶产业化。但是，氮原子进入硅单晶，引起新的科学现象和问题。自1991年起，在国家自然科学基金重点项目和面上项目的支持下，本项目首先集中系统地开展了掺氮直拉硅单晶相关缺陷与性能的基础理论研究，在科学上揭示了掺氮直拉硅单晶缺陷的结构、性质和作用，系列创新成果造成了在国际上的独特影响，并对掺氮硅单晶在国际上的广泛应用起了重要的推动作用。本项目在国外《应用物理通讯》(Appl.Phys.Lett.)等SCI检索学术刊物发表论文34篇，占国际同类SCI论文的47％以上，SCI刊物引用105次（其中他引54次），国内核心刊物论文15篇（其中SCI、EI论文9篇），国际会议论文36篇（其中大会邀请报告3次），国家发明专利1项。本项目的研究成果不仅在学术界，而且在国际产业界得到重视，从2000年以来，掺氮硅单晶已经在国际产业界得到广泛应用，成为国际硅单晶的一种重要品种，目前，国际上主要的硅单晶公司基本都在应用掺氮硅单晶，如国际最大的硅材料公司SEH公司等。 　　这是由中国人系统研究、并促进在国际产业界实际使用的成果。经包括6位院士在内的鉴定委员会鉴定，一致认为该成果达到国际领先水平。

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