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球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置

专利(申请号):CN200510120663.8

专利类型:尚未填写

技术成熟度:研发阶段

所在地:广东广州

最近更新:2018-04-10

行业:机械-机械检测

交易方式:完全转让

价格:面议

项目简介

  本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置,所述检测方法包括获取平行光,选出双点源,光束经平面反射返回,光束经球面反射返回,返回光束输出,球面反射镜误差检测的步骤,所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机,所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高,对振动、温度、气流敏感小,稳定性高,易于操作并能推广应用。

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